Ellipsometrie

Ellipsometrie
El|lip|so|me|t|rie [↑ Elliptizität u. ↑ -metrie], die; -, …tri|en: auf der Messung der Elliptizität reflektierten Lichts beruhende Methode zur Bestimmung von Dicke u. Refraktion dünner Schichten.

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Ellipsometrie
 
[zu Ellipse und. ..metrie] die, -, optische Messmethode zur Bestimmung der Dicke und der optischen Eigenschaften dünner, zumindest teilweise transparenter Schichten und Schichtfolgen. Das auf P. Drude zurückgehende Verfahren beruht auf der Messung des Polarisationszustandes des an einer Probe (im Allgemeinen elliptisch) reflektierten Lichts in Abhängigkeit von dessen Wellenlänge. Die ermittelten Dispersionseigenschaften (wie Brechzahl, Absorptionskoeffizient) erlauben Rückschlüsse auf die innere und Oberflächenstruktur der Probensubstanz. Die Ellipsometrie ist mit der Entwicklung der unterschiedlichen Dünnschichttechniken zu einer wichtigen Messmethode u. a. im Bereich der Prozesskontrolle und Qualitätssicherung geworden (z. B. bei der Herstellung mikroelektronischer Komponenten oder optischer Bauteile).
 
 
R. M. A. Azzam u. N. M. Bashara: Ellipsometry and polarized light (Amsterdam 31992).

Universal-Lexikon. 2012.

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